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无尘烘箱主要应用于半导体制造中硅片、砷化镓、馄酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤 适用于在无尘环境中，加热、烘烤、脱水、固化 也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验；
CLEAN OVEN
产品广泛应用于微电子、半导体、光学玻璃、太阳能、晶圆片的硬烤、软烤，仪表、LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等。
一、根据物料和工件特性，系统可实现功能
■ 高洁净度：根据工艺需要，系统洁净度可达“百级”；
■ 温控精度：根据工艺需要，系统控温精度可达“0.1℃”；
■ 保温效果：根据工艺需要，系统保温效果可达“± 1℃”；
■ 计量精确：根据工艺需要，系统计量精度可达“0.01 %”；
■ 加热速率：柔性曲线送升温，过程均匀更高效，处理速度更快捷；
■ 控制系统：智能模组控制技术，系统更节能；
■ 质量控制：数据化管理、记录，杜绝人为因数干扰产成品质量：
二、规格型号
品 名 | 洁净烘箱 | 品 牌 | 盟腾 | |||
型 号 | JJH-300-1 | JJH-300-2 | JJH-300-3 | JJH-300-4 | ||
工作室尺寸mm (宽×深×高) | 800×1000×1200 | 1520×1000×1500 | 1520×1950×1500 | 3240×1950×1500 | ||
外形尺寸mm (宽×深×高) | 1200×1200×1950 | 2250×1400×2300 | 2250×2300×2300 | 4050×2300×2300 | ||
加热功率 kw | 8 | 26 | 52 | 102 | ||
风机功率 kw | 1.5 | 2.2 | 2.2х2 | 2.2х4 | ||
补充风机功率kw | 0.3 | 0.3 | 0.45 | |||
温度均匀性 | ± 1% ℃ | |||||
洁净等级 | 百级 | |||||
温度范围 | 室温 ～300 ℃ | |||||
控温方式 | 30级 智能可编程序控制 | |||||
循环风量m3/h | 3600-4900 | 9500-14000 | 15000-18000 | 17000-22000 | ||
风压pa/转速s/min | 150/940 | 230/940 | 600/960 | 600/960 | ||
1技术参数如有变动，恕不另行通知，以订货时的参数为准。
2控制方式有智能控制与普通控制二种，订货时需说明要求;
3接受用户定制，可根据用户需求做系统调整；
CLEAN OVEN
产品广泛应用于微电子、半导体、光学玻璃、太阳能、晶圆片的硬烤、软烤，仪表、LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等。
一、根据物料和工件特性，系统可实现功能
■ 高洁净度：根据工艺需要，系统洁净度可达“百级”；
■ 温控精度：根据工艺需要，系统控温精度可达“0.1℃”；
■ 保温效果：根据工艺需要，系统保温效果可达“± 1℃”；
■ 计量精确：根据工艺需要，系统计量精度可达“0.01 %”；
■ 加热速率：柔性曲线送升温，过程均匀更高效，处理速度更快捷；
■ 控制系统：智能模组控制技术，系统更节能；
■ 质量控制：数据化管理、记录，杜绝人为因数干扰产成品质量：
二、规格型号
品 名 | 洁净烘箱 | 品 牌 | 盟腾 | |||
型 号 | JJH-300-1 | JJH-300-2 | JJH-300-3 | JJH-300-4 | ||
工作室尺寸mm (宽×深×高) | 800×1000×1200 | 1520×1000×1500 | 1520×1950×1500 | 3240×1950×1500 | ||
外形尺寸mm (宽×深×高) | 1200×1200×1950 | 2250×1400×2300 | 2250×2300×2300 | 4050×2300×2300 | ||
加热功率 kw | 8 | 26 | 52 | 102 | ||
风机功率 kw | 1.5 | 2.2 | 2.2х2 | 2.2х4 | ||
补充风机功率kw | 0.3 | 0.3 | 0.45 | |||
温度均匀性 | ± 1% ℃ | |||||
洁净等级 | 百级 | |||||
温度范围 | 室温 ～300 ℃ | |||||
控温方式 | 30级 智能可编程序控制 | |||||
循环风量m3/h | 3600-4900 | 9500-14000 | 15000-18000 | 17000-22000 | ||
风压pa/转速s/min | 150/940 | 230/940 | 600/960 | 600/960 | ||
1技术参数如有变动，恕不另行通知，以订货时的参数为准。
2控制方式有智能控制与普通控制二种，订货时需说明要求;
3接受用户定制，可根据用户需求做系统调整；
